Surface and interface studies of titanium silicide formation

• المؤلفون الرئيسيون: Wee, A.T.S., Huan, A.C.H., Osipowicz, T., Lee, K.K., Thian, W.H., Tan, K.L., Hogan, R.
• مؤلفون آخرون: PHYSICS
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Rutherford backscattering spectroscopy; secondary ion mass spectrometry (SIMS); Silicides; Titanium
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/98123

Thin Solid Films