Surface passivation of (100)-oriented GaAs with ultrathin fluoropolymer films deposited by radio frequency magnetron sputtering of poly(tetrafluoroethylene)

• المؤلفون الرئيسيون: Zhang, Y., Kang, E.T., Neoh, K.G., Ang, S.S., Huan, A.C.H.
• مؤلفون آخرون: CHEMICAL & ENVIRONMENTAL ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/85709
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1149/1.1545466