SCREAM micromachined high aspect ratio low-G microaccelerometer

• المؤلفون الرئيسيون: Tay, Francis E.H., Logeeswaran, V.J., Liang, Y.C.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/81729

Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering