Two-axis gimbal-less electrothermal micromirror for large-angle circumferential scanning

10.1109/JSTQE.2009.2016436

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Xu, Y., Singh, J., Selvaratnam, T., Chen, N.
مؤلفون آخرون:	BIOENGINEERING
التنسيق:	Conference or Workshop Item
منشور في:	2014
الموضوعات:	Electrothermal effects Microelectromechanical devices Micromachining
الوصول للمادة أونلاين:	http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/74942
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة:	National University of Singapore

مواد مشابهة