New low-voltage contrast mechanism to image local defects in very thin silicon dioxide films. True oxide electron beam induced current

• المؤلفون الرئيسيون: Lau, W.S., Chan, D.S.H., Phang, J.C.H., Chow, K.W., Pey, K.S., Lim, Y.P., Cronquist, B.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/72788

Annual Proceedings - Reliability Physics (Symposium)