Wafer-level BCB bonding using a thermal press for microfluidics
10.1007/s00542-008-0712-2
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| 格式: | Article |
| 出版: |
2014
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| 在線閱讀: | http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/61686 |
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| 機構: | National University of Singapore |