Micromachined III-V multimorph actuators for MOEMS applications - Concept, design, and model

• المؤلفون الرئيسيون: Ongkodjojo, A., Tay, F.E.H., Akkipeddi, R.
• مؤلفون آخرون: MECHANICAL ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الموضوعات: AlAs-GaAs; Global optimization; III-V materials; Microactuator; Microoptoelectromechanical systems (MOEMS); Multimorph; Piezoelectric effect; Simulated annealing (SA)
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/60745
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1109/JMEMS.2005.844779