Rutherford backscattering analysis of GaN decomposition

• المؤلفون الرئيسيون: Choi, H.W., Cheong, M.G., Rana, M.A., Chua, S.J., Osipowicz, T., Pan, J.S.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/57323
• المؤسسة: National University of Singapore

Journal of Vacuum Science and Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures