Improvement of redeposition removal from hard disk head etched by reactive ion etching
ปัจจุบันขนาดของชิ้นส่วนของหัวอ่าน - เขียนมีขนาดเล็กลง ส่งผลให้การกำจัดกากที่พอกตัวจากการกัดกรอ่นด้วยวิธีการเอทชิง เป็นเรื่องสำคัญที่ต้องคำนึงถึงในอุตสาหกรรมการผลิตหัวอ่าน - เขียน ทั้งนี้เป็นผลมาจากการเพิ่มขึ้นของเวลาที่ใช้ในการเอทชิงทำให้การพอกตัวของกากมีมากขึ้น ซึ่งการการทำความสะอาดชิ้นงานโดยใช้สาร...
Saved in:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 其他作者: | |
| 格式: | Theses and Dissertations |
| 語言: | English |
| 出版: |
Chulalongkorn University
2007
|
| 主題: | |
| 在線閱讀: | https://digiverse.chula.ac.th/Info/item/dc:76314 |
| 標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|