Improvement of redeposition removal from hard disk head etched by reactive ion etching

• Main Author: Nattaporn Khamnualthong
• Other Authors: Tawatchai Charinpanitkul
• Format: Theses and Dissertations
• Language: English
• Published: Chulalongkorn University 2007
• Subjects: Sodium hydroxide; Electronics; โซเดียมไฮดรอกไซด์; อิเล็กทรอนิกส์
• Online Access: https://digiverse.chula.ac.th/Info/item/dc:76314
• Institution: Chulalongkorn University

ปัจจุบันขนาดของชิ้นส่วนของหัวอ่าน - เขียนมีขนาดเล็กลง ส่งผลให้การกำจัดกากที่พอกตัวจากการกัดกรอ่นด้วยวิธีการเอทชิง เป็นเรื่องสำคัญที่ต้องคำนึงถึงในอุตสาหกรรมการผลิตหัวอ่าน - เขียน ทั้งนี้เป็นผลมาจากการเพิ่มขึ้นของเวลาที่ใช้ในการเอทชิงทำให้การพอกตัวของกากมีมากขึ้น ซึ่งการการทำความสะอาดชิ้นงานโดยใช้สาร...