ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์

The objectives of this thesis were to study the effects of silicon powder size on the processing of reaction-bonded silicon nitride (RBSN) and oxidation of RBSN. The first part was investigated by using three silicon powders of 3, 6 and 12 micrometre in average size. The procedure for processing of...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Main Author:	กิตติมา ศิลปษา
Other Authors:	ไสว ด่านชัยวิจิตร
Format:	Theses and Dissertations
Language:	Thai
Published:	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย 2002
Subjects:	ซิลิกอนไนไตรด์ > การขึ้นรูป
Online Access:	https://digiverse.chula.ac.th/Info/item/dc:46344
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Institution:	Chulalongkorn University
Language:	Thai

id	46344
record_format	dspace
spelling	463442024-03-18T15:25:39Z https://digiverse.chula.ac.th/Info/item/dc:46344 ©จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย Thesis 10.58837/CHULA.THE.2002.1392 tha กิตติมา ศิลปษา ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ Effects of silicon powder size on the processing of reaction-bonded silicon nitride (RBSN) and oxidation of RBSN จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย 2002 2002 The objectives of this thesis were to study the effects of silicon powder size on the processing of reaction-bonded silicon nitride (RBSN) and oxidation of RBSN. The first part was investigated by using three silicon powders of 3, 6 and 12 micrometre in average size. The procedure for processing of RBSN body was as follows: compacting the silicon powder with uniaxial press at 72 MPa and then cold isostatic press (CIP) at 300 MPa; pre-sintering the green compact at 1200 ํC in argon atmosphere for 3 hrs; then nitriding the preform body at 1500 ํC in nitrogen atmosphere for 3 hrs. The physical and mechanical properties were measured. From the results, bulk density, hardness, young s modulus and flexural strength are increased with decreasing the silicon powder size. For the second part the oxidation of RBSN was investigated at 700 ํC, 800 ํC, 900 ํC and 1000 ํC in air atmosphere for 20 hrs. The activation energy was calculated and microstructure was observed. In the range of 700-1000 ํC, SiO[subscript 2] was formed with activation energy of 209 kJ/mol (50 kcal/mol). วิทยานิพนธ์ฉบับนี้ เป็นการศึกษาผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอกชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ และการเกิดออกซิเดชันของรีแอกชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ โดยในส่วนแรกถูกตรวจสอบด้วยการใช้ผงซิลิคอนสามขนาดซึ่งมีขนาดเฉลี่ย 3, 6 และ 12 ไมโครเมตร อัดขึ้นรูปด้วยแรงแบบแนวเดียวที่ 72 MPa แล้วทำการอัดขึ้นรูปด้วยแรงแบบทุกทิศทางที่ 300 MPa จากนั้นเผาผนึกขึ้นต้นที่อุณหภูมิ 1200 YC ในบรรยากาศอาร์กอนเป็นเวลา 3 ชั่วโมง และทำการไนไตรเดชันที่อุณหภูมิ 1500 ํC ในบรรยากาศไนโตรเจนเป็นเวลา 3 ชั่วโมง ตรวจสอบสมบัติทางกายภาพและสมบัติทางกล จากผลการทดลองพบว่าเมื่อขนาดของผงซิลิคอนเล็กลงสมบัติต่างๆ ทั้งความหนาแน่น, โมดูลัสของยัง, ความแข็ง และความแข็งแรงต่อการดัดจะมีค่าเพิ่มขึ้น ในส่วนที่สองทำการศึกษาการเกิดออกซิเดชันโดยเผาชิ้นงานรีแอกชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์ในบรรยากาศ ที่อุณหภูมิ 700, 800, 900 และ 1000 ํC เป็นเวลา 20 ชั่วโมง หาค่าพลังงานกระตุ้นและตรวจสอบโครงสร้างจุลภาค จากผลจากทดลองพบว่าการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิระหว่าง 700-1000 ํC มีค่าพลังงานกระตุ้นที่จะเกิดซิลิกาเป็น 209 kJ/mol (50 kcal/mol) 128 pages ซิลิกอนไนไตรด์ -- การขึ้นรูป ไสว ด่านชัยวิจิตร กุลจิรา สุจิโรจน์ https://digiverse.chula.ac.th/digital/file_upload/biblio/cover/46344.jpg
institution	Chulalongkorn University
building	Chulalongkorn University Library
continent	Asia
country	Thailand Thailand
content_provider	Chulalongkorn University Library
collection	Chulalongkorn University Intellectual Repository
language	Thai
topic	ซิลิกอนไนไตรด์ -- การขึ้นรูป
spellingShingle	ซิลิกอนไนไตรด์ -- การขึ้นรูป กิตติมา ศิลปษา ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์
description	The objectives of this thesis were to study the effects of silicon powder size on the processing of reaction-bonded silicon nitride (RBSN) and oxidation of RBSN. The first part was investigated by using three silicon powders of 3, 6 and 12 micrometre in average size. The procedure for processing of RBSN body was as follows: compacting the silicon powder with uniaxial press at 72 MPa and then cold isostatic press (CIP) at 300 MPa; pre-sintering the green compact at 1200 ํC in argon atmosphere for 3 hrs; then nitriding the preform body at 1500 ํC in nitrogen atmosphere for 3 hrs. The physical and mechanical properties were measured. From the results, bulk density, hardness, young s modulus and flexural strength are increased with decreasing the silicon powder size. For the second part the oxidation of RBSN was investigated at 700 ํC, 800 ํC, 900 ํC and 1000 ํC in air atmosphere for 20 hrs. The activation energy was calculated and microstructure was observed. In the range of 700-1000 ํC, SiO[subscript 2] was formed with activation energy of 209 kJ/mol (50 kcal/mol).
author2	ไสว ด่านชัยวิจิตร
author_facet	ไสว ด่านชัยวิจิตร กิตติมา ศิลปษา
format	Theses and Dissertations
author	กิตติมา ศิลปษา
author_sort	กิตติมา ศิลปษา
title	ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์
title_short	ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์
title_full	ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์
title_fullStr	ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์
title_full_unstemmed	ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์
title_sort	ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์
publisher	จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย
publishDate	2002
url	https://digiverse.chula.ac.th/Info/item/dc:46344
_version_	1829268324959125504

Similar Items