ผลของขนาดผงซิลิคอนต่อกระบวนการขึ้นรูปรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์และการเกิดออกซิเดชันของรีแอ็กชันบอนด์ซิลิคอนไนไตรด์

• المؤلف الرئيسي: กิตติมา ศิลปษา
• مؤلفون آخرون: ไสว ด่านชัยวิจิตร
• التنسيق: Theses and Dissertations
• اللغة: Thai
• منشور في: จุฬาลงกรณ์มหาวิทยาลัย 2002
• الموضوعات: ซิลิกอนไนไตรด์ > การขึ้นรูป
• الوصول للمادة أونلاين: https://digiverse.chula.ac.th/Info/item/dc:46344
• المؤسسة: Chulalongkorn University

The objectives of this thesis were to study the effects of silicon powder size on the processing of reaction-bonded silicon nitride (RBSN) and oxidation of RBSN. The first part was investigated by using three silicon powders of 3, 6 and 12 micrometre in average size. The procedure for processing of RBSN body was as follows: compacting the silicon powder with uniaxial press at 72 MPa and then cold isostatic press (CIP) at 300 MPa; pre-sintering the green compact at 1200 ํC in argon atmosphere for 3 hrs; then nitriding the preform body at 1500 ํC in nitrogen atmosphere for 3 hrs. The physical and mechanical properties were measured. From the results, bulk density, hardness, young s modulus and flexural strength are increased with decreasing the silicon powder size. For the second part the oxidation of RBSN was investigated at 700 ํC, 800 ํC, 900 ํC and 1000 ํC in air atmosphere for 20 hrs. The activation energy was calculated and microstructure was observed. In the range of 700-1000 ํC, SiO[subscript 2] was formed with activation energy of 209 kJ/mol (50 kcal/mol).