Three-dimensional micromachining of silicon using a nuclear microprobe

• المؤلفون الرئيسيون: Teo, E.J., Tavernier, E.P., Breese, M.B.H., Bettiol, A.A., Watt, F., Liu, M.H., Blackwood, D.J.
• مؤلفون آخرون: PHYSICS
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Electrochemical etching; Porous silicon; Proton beam writing; Silicon micromachining
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/98399
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1016/j.nimb.2004.04.159