Footing reduction in the organic bottom anti-reflective coating implementation

• المؤلفون الرئيسيون: Ko, T.-M., Cheng, A.
• مؤلفون آخرون: CHEMICAL ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Computer simulation; Descrum; Footing; Organic barc; Photoresist; Planarization; Reflectivity; Resist profile; Sidewall angle; Swing curve
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/91810

10.1117/12.280540