Mechanism and dissolution rates of anodic oxide films on silicon

• المؤلفون الرئيسيون: Liu, D.Q., Blackwood, D.J.
• مؤلفون آخرون: MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Electropolishing; Potentiodynamic polarization; Salt film; Silicon
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/86531

10.1016/j.electacta.2013.04.024