Manipulating interface dipoles of opposing polarity for work function engineering within a single metal gate stack

10.1109/IEDM.2008.4796606

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Lim, A.E.-J., Hou, J., Kwong, D.-L., Yeo, Y.-C.
مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
التنسيق: Conference or Workshop Item
منشور في: 2014
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/83935
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: National University of Singapore