Large-area micro/nanostructures fabrication in quartz by laser interference lithography and dry etching

• المؤلفون الرئيسيون: Liu, C.H., Hong, M.H., Lum, M.C., Flotow, H., Ghadessy, F., Zhang, J.B.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/82600

10.1007/s00339-010-5807-9