Two masks process for high aspect ratio inertial sensors with ajustable range

• المؤلفون الرئيسيون: Iliescu, C., Avram, M., Miao, J., Tay, F.E.H., Xu, G.
• مؤلفون آخرون: MECHANICAL ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Anodic bonding; Comb drive; High aspect ratio; Inertial sensors with adjustable range
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/73986

Proceedings of the International Semiconductor Conference, CAS