Electrostatic MEMS resonating micro polygonal scanner for circumferential endoscopic bio-imaging

• المؤلفون الرئيسيون: Mu, X., Zhou, G., Yu, H., Tsai, J.M.-L., Neo, W.K., Kumar, A.S., Chau, F.S.
• مؤلفون آخرون: MECHANICAL ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Diamond turning; Micro-assembly; Microelectromechanical systems; Optical coherence tomography; Resonating micro-scanners; Softlithography
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/73419
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1117/12.2003972