Design and characterization of microelectromechanical system flow sensors using silicon nanowires
10.1166/nnl.2011.1160
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| 其他作者: | |
| 格式: | Conference or Workshop Item |
| 出版: |
2014
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| 主題: | |
| 在線閱讀: | http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/69821 |
| 標簽: |
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| 機構: | National University of Singapore |