Isolation process induced wafer warpage

• المؤلفون الرئيسيون: Jang, S.-A., Yeo, I.-S., Kim, Y.-B., Cho, B.-J., Lee, S.-K.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/62360

Electrochemical and Solid-State Letters