Seal and encapsulate cavities for complementary metal-oxide-semiconductor microelectromechanical system thermoelectric power generators

10.1116/1.3556954

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Xie, J., Lee, C., Wang, M.-F., Feng, H.
مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
التنسيق: مقال
منشور في: 2014
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/57342
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة