Fabrication of high-quality boron-doped microcrystalline silicon thin films on several types of substrates

• المؤلفون الرئيسيون: Yin, Y., Long, J., Venkataraj, S., Wang, J., Aberle, A.G.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: Conference or Workshop Item
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Microcrystalline silicon; PECVD; Solar cells; Thin film growth
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/83724

10.1016/j.egypro.2012.07.005