Development of a sensor for layered micro-component measurement using white light interferometry

10.1109/SENSORDEVICES.2010.12

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Tay, C.J., Quan, C., Li, M.
مؤلفون آخرون: MECHANICAL ENGINEERING
التنسيق: Conference or Workshop Item
منشور في: 2014
الموضوعات:
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/73340
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: National University of Singapore