Temperature control and in situ fault detection of wafer warpage

• المؤلفون الرئيسيون: Ho, W.K., Yap, C., Tay, A., Chen, W., Zhou, Y., Tan, W.W., Chen, M.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الموضوعات: Fault detection; Lithography; Temperature measurement; Wafer warpage
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/57602

10.1109/TSM.2006.890314